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    電容式壓力變送器與擴散硅壓力變送器的區別

    點擊次數:155 發布時間:2021-05-26 02:21:05
    壓力變送器根據感壓膜片的不同分為電容式、擴散硅式、單晶硅式和陶瓷式,本文主要討論電容式和擴散硅式。
     
    一、電容式壓力變送器
    原理:電容式壓力變送器有一個可變電容的傳感組件,該傳感器是一個完全封閉的組件,過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充硅油傳到傳感膜片引起位移,傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成4-20ma電流信號。
     
    簡單的說,壓力引起電容的變化。
     
    其優點為:可以做到極低壓力;抗過載能力強;精度高。缺點為:高壓測量缺乏優勢;傳感器封裝工藝要求高。
     
    以壓力變送器為例,電容式如下圖所示:
     
    二、擴散硅式壓力變送器
    擴散硅式壓力變送器原理:被測介質的壓力直接作用于傳感器的擴散硅膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移。在正常狀態下,膜片最大位移不大于0.025mm,電子線路檢測這一位移量后,即把這一位移量轉化成4-20ma信號。
     
    簡單的說,壓力引起電阻的變化。
     
    超壓時膜片直接貼到堅固的擴散硅上,由于膜片和基體的間隙只有0.1mm,因此過壓時膜片的最大位移也只有0.1mm,所以從結構上保證了膜片不會產生過大的變形,該傳感器具有很好的穩定性和高精度。
     
    其優點是:穩定性高,每年優于0.1%FS;溫度偏移小,由于取消了測量元件中的液體,因此傳感器能夠獲得很高的精度;價格便宜。缺點是:低于0℃或高于85℃難以正常使用;不能承受動態壓力;膜片易損壞;不適用20MPa以上的壓力。
     
    以壓力變送器為例,擴散硅式如下圖所示:

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